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    本实用新型涉及用于制造热解氮化硼制品的化学气相沉积感应炉,属化学气相沉积技术领域。其特征是炉体内环绕感应线圈的石墨套筒发热体内中下部,设置的模具基体立于旋转底座上。本实用新型给出的是一种中频感应炉,基体在感应线圈中,本身在磁场作用下,产生涡流,发出热量,外加同心圈发热体,对它辐射热,所以升温速度快,基体受热较均匀。

    1.一种制备热解氮化碉坩蛹制品的中频感应炉。具有炉体、加热体、进气口、出气口、模具,其特征是炉体(2)内环绕感应线圈(4)的石墨套筒发热体(5)内中下部,设置的模具基体(3)立于旋转底座上。

    2.按照权利要求1所述的中频感应炉,其特征是立亍旋转底座上的坩埚基体也可悬吊在炉体内反应室中央。

    3.按照权利要求l所述的中频感应炉,其特征是进气方式可呆用同心圆顶部进气或同心圆底部进气。

    制备热解氮化硼坩埚制品的中频感应炉

    本实用新型涉及用于制造热解氮化硼制品的化学气相沉积感应炉,属化学气相沉积技术领域。

    目前,生产热解氮化硼(PBN)坩埚制品,通常是采用碳管炉,如专利号92235 683,1所公开的技术方案,它是通过外部辐射加热使基体不断地被加热型所需温度,而后通气沉积。存在的缺点是:加热速度慢,其制出的坩埚制品使用寿命短,壁厚的均匀度差。

    本实用新型的目的是针对上述存在的缺点,提供一种加热速度快的中频感应炉,嗣其可制出壁厚均匀度好,使用寿命长的热解氮化硼制品。

    本实用新型是由炉体、加热体、迸气口、出气口、模具等构成,进气口在炉体顶部或底部,出气口在炉体的底部或顶部其特征是炉体(2)内环绕感应线圈(4)的石墨套筒发热体(5)内中下部,设置的模具基体(3)立于旋转底座上,中频感应妒的基体在升温过程中获得两方面的能量来源,1.是基体本身基体采用石墨材料,石墨在磁场作用下发出热量:2是周围发热体的辐射加热,所以升温速度快,同时有磁扬的作用,对生产出的PBN坩埚质量有较大的提高,一般用碳管炉制备的坩埚没有用感应炉制备的坩埚使用寿命长,同时敲出击时有金属的回声(指用感应炉制备的坩埚),用碳管炉制备的坩蜗敲击时没有金属回声。它所采用的是中频感应电源,作为加热电源。立子旋转底座上的坩埚基体也可悬吊在炉体内反应室中央。进气方式可采用同心圆顶部进气或同心圆底部进气。

    本实用新型给出的是一种中频感应炉,基体在感应线圈中,本身在磁场作用下,产生涡流,发出热量,外加同心圆发热体,对它辐射热,所以升温速度侠,基体受热较均匀。因此用此感应妒制备的P BN坩埚,用金属捧敲击时会有清脆的金属回响,而用碳管炉制备的坩埚没有这种声音。实践证明,用此种感应炉制备的坩埚,使用寿命长,壁厚均匀不易损坏。

    附图为实用新型的结构示意图。实验时,先用机械泵将炉内抽至12mmHg,当炉温达1900℃通入混合气体.从图中可见,同心圆进气口(1)位于炉管中央,模具基体(3)正对避气口(1),避气口(1)与出气口(6)正对。

    实施例:

        1.将己制备好的石墨模具,立于感应炉的旋转支架上,温度19000c,炉内压力0.2mmHg道入N2-6立升/分,NH8-LO/分, BCL8-0.6升/分18后,在模具表面上形成厚度0.81. Omm厚的热解氮化硼薄层,待炉冷至室温后,取出脱模,即获得热解氮化硼坩埚。

    2.将制备好的石墨坩埚,口朝上直立于旋转台上,炉温在1800℃,02mmHg,将n2-8立升/分,NH3-0.8升/分,BC-0.5/分,L8,通入炉内保温2小时,在石墨坩埚表面生成一层PBN薄层,厚度O,1mm左右,待炉冷至室温取出,即可制得在石墨坩埚表面涂层有热解氮化硼的热解氮化硼涂层坩埚。

    3.将制备好的石墨板模具,平放於旋转台上,将炉温升至1950℃,炉内压力0.25mmHg通入N2-6立升/分,NH30.8升/分,BCL0.5立升/分,保温20小时,可制得厚度3mm左右的PBN厚层,炉冷后取出,脱模,即获得PBN板材

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